NanoSIMS
NanoSIMS ist ein Sekundärionenmassenspektrometer (SIMS) mit einer modifizierten Ionenoptik, welche es ermöglicht eine bessere räumliche Auflösung als mit herkömmlichen SIMS zu erreichen. Während mit SIMS eine Auflösung im Mikrometerbereich erreicht wird ist es mit NanoSIMS möglich ein dreidimensionales Bild der Element- und Isotopenzusammensetzungen einer Probe mit einer räumliche Auflösung kleiner als 100 Nanometer zu erhalten.
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