Dotierung

Eine Dotierung oder das Dotieren (v. lat.: dotare ausstatten) ist

1. die Festlegung einer bestimmten Geldsumme als Entgelt oder bei einer Preisverleihung
2. in der Elektronik bei der Chipherstellung das Einbringen (Implantation) von Fremdatomen in eine Schicht oder ins Grundmaterial eines elektronischen Bauteiles oder eines integrierten Schaltkreises, und zwar in sehr geringer Konzentration (Größenordnung ca. 10^-10). Dies verändert gezielt die Eigenschaften dieser Schicht, meistens die Leitfähigkeit oder die Kristallstruktur. Es gibt hierfür verschiedene Verfahren, z.B. Diffusion, Sublimation aus der Gasphase oder Beschuss mittels hochenergetischen Teilchenkanonen unter Vakuum (Ionenimplantation). Die Wirkungsweise der Dotierung kann im Bändermodell erklärt werden.

Typische Dotierstoffe für Silizium-Schichten sind:

• Bor
• Phosphor
• Arsen
• Argon

und seit neustem auch

• Kohlenstoff